Gather-X JED series DrySD™ Windowless EDS

使用JSM-IT800 / Windowless EDS分析进行科学探索。

实现从轻元素到重元素全能量范围EDS分析。

在碳中和的引领下，材料开发变得更加重要。以电池材料为例，需要从Li等轻元素到Ni、Co、Mn等过渡金属的广泛分析。在半导体材料和催化剂纳米粒子的分析中，更高效、灵敏地分析X射线特性的需求正在增加。

新开发的Dry SD™ Gather-X是Windowless型EDS，可以装在JSM-IT800电镜上，可以高灵敏分析包括Li-K (54ev)在内的全能量范围的元素。 此外，使用与JSM-IT800联动的安全功能及SEM/EDS一体化软件，操作起来安心又快速。

   主要特点                                                                                                                                              

1.  全能量范围的高灵敏分析

（1）检测100eV以下的特征X射线

      Windowless EDS大幅提高能量在1keV以下的特征X射线的检测灵敏度，Li-K等100eV以下的软X射线也能检测。

固态锂离子电池负极材料分析例

    样品：固态锂离子电池的硅负极，  分析条件：加速电压3kV，WD7mm，探针电流0.6nA，采集时间15分钟    设备：JSM-IT800(SHL)

    样品提供：丰桥技术科学大学 电气电子信息工学系  松田 厚范教授

    锂（Li-K：54eV）和硅（Si-L：90eV）的EDS面分布图。通过对能量彼此接近的两个峰的分离面扫，在硅负极内的锂和硅的分布很明显。

    100eV以下 的x射线检测能力是windowlessEDS的最大特点。

（2）大立体角

   立体角能够以高计数率进行EDS分析，测定时间大幅缩短，样品的电子束损伤也明显减少。

锂离子电池正极材料的分析案例

       样品：锂离子电池的正极材料     分析条件： 加速电压1.5kV（样品偏压：-5kV），WD7mm，探针电流4.8nA，采集时间13分钟   使用设备：JSM-IT800（SHL）

       活性物质Mn，Co，Ni, O, 导电剂C, 粘合剂F的EDS元素分布图。为了减弱电子束损伤，分析样品表面粘合剂F，本例采用1.5kV低加速电压进行分析。

      与Standard EDS (DrySD™ 100 mm²) 比较，因为X射线计数率高，峰的分离精度也提高了获取到更清晰准确的F素分布图。

       跑道型X射线传感器，离样品更近，实现了大立体角。

（3）高加速电压分析

      电子阱可以防止样品中的背散射电子进入x射线传感器，即使30kV的加速电压下也能进行定性定量分析。

     半导体的STEM/EDS分析例

     在30kV加速电压下进行半导体材料的STEM-EDS分析。因为阻止了背散射电子的入射，抑制了由背散射电子导致的背底噪声的上升，从而避免了传感器的损伤。

     样品：SiC功能半导体的薄膜(FIB制样)       分析条件：加速电压30kV，WD8mm，探针电流4.1nA，采集时间5分钟使用设备：JSM-IT800（SHL）

      使用Deben公司制造的STEM检测器，EDS相分析软件是可选件。

      EDS相分析软件可以识别样品中的各个相，从而区分单一物质和多元素化合物。

2.   高空间分辨率面分析

短WD/BD模式分析

在小于标准WD7mm条件下进行定性分析，并结合使用BD模式向样品台施加偏压，在低加速电压下获得高空间分辨率的EDS元素分布图。

纳米催化剂的分析例

WD 4 mm、200,000倍率下观察到的氧化钛上的Ag纳米颗粒（约18nm）的EDS元素面分布图。高空间分辨率EDS元素面分布图可有效分析纳米催化剂等的微小颗粒。

样品：氧化钛上的Ag纳米颗粒    分析条件：加速电压5kV（样品偏压：-5kV），WD4mm，探针电流1nA，采集时间9分钟，浅黄色：Ag-L，紫色：O-K + Ti-L

最大限发挥JSM-IT800能力，进行SEM/EDS分析。

3.  好用，放心操作

（1）一体化EDS

      可以使用JSM-IT800的SEM Center操作windowless EDS。从SEM观察到EDS分析可以实现无缝操作。EDS的点、面、线、区域分析可以在SEM Center监控屏幕上进行。Live Analysis 和Live MAP丰富的筛选功能。

（2）JSM-IT800联动的安全功能

      JEOL作为拥有安全系统技术的电子显微镜制造商，JSM-IT800和Gather-X联动可以放心操作。

（3）传感器保护系统

      安全系统可以防止冷却状态的X射线传感器因暴露于大气中而受损。当传感器冷却状态时限制SEM样品室的真空度。

（4）SEM样品台防撞系统

该系统可以防止检测器在插入位置上与各种样品座发生碰撞。根据样品座大小限制样品台的移动，从而提供安全的分析。

（5）各种附件防撞系统

该系统可以防止检测器与JSM-IT800上的各种附件发生碰撞。如果附件位于可能与插入的检测器碰撞的位置，系统会自动限制EDS的插入位置。

当EDS不会与插入的附件发生碰撞时，可以在在此位置进行分析。为了防止与插入的附件放生碰撞，限制Gather-X的插入位置。