实现了世界最高扫描透射像(STEM-HAADF)分辨率
JEM-ARM300F配备了JEOL自主研发的球差校正器,最高加速电压可达300kV,是一款原子级分辨率电子显微镜。实现了世界最高的STEM-HAADF像分辨率。
STEM-HAADF像的保证分辨率达到了前所未有的58pm
采用JEOL自主研发的球差校正器,扫描透射像(STEM像)的保证分辨率可达58pm(300kV,超高分辨率极靴、使用STEM球差校正器时)。
ETA校正器 JEOL自主研发的12极球差校正器 ※选配件
ETA校正器(Expanding trajectory aberration corrector)是JEOL研发的扩展轨道型12极球差校正器。可以在用户现场加装STEM球差校正器及TEM球差校正器。
强大的冷场发射电子枪HyperCF300
标配了全新设计的冷场发射电子枪,低能散、高亮度电子束能提供高分辨率观察和分析。
两种物镜极靴
为了支持用户广泛的需求,研发了两种各具特点的物镜极靴。
丰富的选购件
能安装超大立体角EDS(能谱仪)、EELS(电子能量损失谱仪)、背散射电子检测器及四种STEM观察检测器。
大范围的加速电压设置
标配300kV和80kV下的球差校正数据,可选的加速电压范围从40KV?300kV,使用范围极广。
新开发的真空系统
新的排气系统达到了极高的真空度,在原子尺度的图像观察和分析中,最大限度地减轻了对样品的污染和损伤。
高稳定的镜筒和样品台
整体稳定性高、直径330mm的镜筒增加了机械刚度, 在JEM-ARM200F高度稳定的技术基础之上,把电气稳定性和对环境的抗干扰能力提高到新高度。
分辨率 | 300 kV,80 kV | |
物镜种类※1 | UHR极靴 | HR极靴 |
STEM分辨率(300kV) 使用STEM校正器 | 0.058nm | 0.063nm |
TEM分辨率(300 kV) | 线分辨率0.05nm | 线分辨率0.06nm |
使用TEM校正器 | 非线性信息分辨极限0.06nm | 非线性信息分辨极限0.07nm |
线性信息分辨极限0.09nm | 线性信息分辨极限0.12nm |