AnalysisStation
JED-2300T AnalysisStation是以“图像观察和分析”为基本理念的TEM/EDS集成系统。在分析数据过程中,自动采集电镜主机的倍率、加速电压等参数,进行数据管理。
硅漂移检测器(以下简称SDD)的检测面积有30mm2、60mm2和100mm2三种。检测面积越大,检测灵敏度越高。JEM-ARM200F(HRP)配合使用DRY SD100GV检测器(检测面积为100mm2),可同时实现大受光面积和高分辨率, 可以清楚地识别B、C、N、O等轻元素。
快速元素面分析
DRYSD100GV检测器的灵敏度极高,测试Au催化剂颗粒只需一分钟。
上图: 样品 负载在Ti氧化物上的Au催化剂颗粒
装置: JEM-ARM200F + DRYSD100GV检测器
测试时间: 大约1分钟
束流电流: 1nA
像素数: 256x256像素
实现原子分辨率的面分析
Sr和Ti的原子列被清楚地分离开来。
上图: 样品 SrTiO3<100>
装置: JEM-ARM200F + DRYSD100GV检测器
测试时间: 大约10分钟
束流电流: 1nA
像素数: 128x128像素
play Back(回放)功能
用JEOL制造的EDS采集的元素面分布图,不仅保存了每一帧中各个像素点的谱图,还对每一帧中电子束形成的图像进行了存储。利用play back功能,可以进行多角度的分析如观测谱图等随时间的变化等。测试后数据能够回放,可以观察到样品按时间顺序发生的变化,这是至今为止无法实现的。此外,利用play back功能还可以截取任意指定的画面。
上图: 装置 JEM-2800+DRYSD100GV检测器
样品: 岩盐
像素数: 128x128
提取的帧号: 398帧s