◇ 新操作导航SEM Center-集成了EDS操作
新开发的操作GUI“SEM Center”将SEM成像观察和EDS分析整合在一起,实现了图像观察和元素分析的无缝数据采集。
◇ 新功能Zeromag
“Zeromag”,结合了从光学图像到SEM成像的无缝转换,很容易定位试样目标微区。
◇ 新功能Live-AI filter(实时图像视觉增强器人工智能过滤器) option
配备人工智能Live-AI filter。与图像集成处理不同,这种新的过滤器可以显示无缝移动的实时图像,没有残留图像。这种独特的特征对于快速搜索观察区域、聚焦和消像散调整非常有效。
◇ In-lens 肖特基-Plus场发射电子枪(FEG)
电子枪和低像差聚光镜的增强集成实现了更高的亮度。能够有效收集电子枪产生的电子,即使低加速电压下也能得到数pA-数十pA的电流,支持高分辨观察、高速元素分析和EBSD分析。
◇ 混合透镜(HL)
混合透镜(HL)是静电和电磁场透镜的组合,支持从磁性材料到绝缘体等各种样品的高空间分辨率成像和分析
◇ Neo Engine
Neo Engine是一种前沿的电子光学控制系统,在自动功能的精度上有了显著的提高,可操作性也更高。即使变更电子光学条件,光轴也不偏差,操作性和观察精度大幅提高。可以说是JEOL电子光学技术的结晶。
◇ ACL
JSM-F100包括一个光阑角孔优化透镜(ACL)。ACL抑制入射电子的扩散,以始终保持最小的探头。这是通过对孔径角度的优化控制来实现的,以适应探头电流的大变化,使扫描电镜的操作包括高分辨率成像和x射线分析顺利进行。
◇ 检测器
4个检测器。标配SED (二次電子検出器)、UED(上方検出器) 、可选件RBED、USD
UED and USD
RBED and SED
分辨率(1 kV) | 1.3纳米 |
分辨率(20 kV) | 0.9纳米 |
加速电压 | 0.01至30 kV |
标准检测器 | 高位电子检测器(UED),二次电子检测器(SED) |
电子枪 | 浸没式肖特基Plus场发射电子枪 |
探头电流 | 几pA至300 nA (30 kV) |
物镜 | 混合式透镜(HL) |
样品台 | 全优中心(eucentric)测角仪样品台 |
样品移动 | X轴:70毫米,Y轴:50毫米,Z轴:2至41毫米 |
EDS检测器 | 能量分辨率:133 eV或更低 |