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JXA-8230 电子探针显微分析仪

可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器，组合使用WDS和EDS，能提供无缝、舒适的分析环境。

检测元素范围	WDS：(Be)^*1 /B～U, EDS：B～U
X射线检测范围	WDS检测的波长范围: 0.087～9.3nm, EDS EDS检测的能量范围: 20keV
分光谱仪数量	WDS: 1～5道可选、EDS: 1台
最大样品尺寸	100mm × 100mm × 50mm（H）
加速电压	0～30kV（以0.1 kV为步长）
束流电流范围	10^-12 ～ 10^-5 A
束流电流稳定度	5%/h, ±0.3%/12h（W）
二次电子分辨率	6nm（W）, 5nm（LaB₆）^*2 （W.D. 11mm, 30kV）
扫描倍率	×40 ～ ×300,000（W. D. 11mm）
扫描图像分辨率	最大 5,120× 3,840
彩色显示器	EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024 SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024
光学显微镜
分辨率	～1um
焦深	1um
真空系统	机械泵、分子泵、离子泵 ^*2
真空度	样品室: 优于8.0 x 10^-4Pa, 电子枪: 优于9.0 x 10^-5Pa

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