RF-120系列高频电源
是溅射、刻蚀、CVD、离子镀等薄膜制备/加工使用的、用于生成等离子体的13.56MHz高频电源（RF电源）
详细介绍
| RF-12010 | RF-12020 | RF-12030 | RF-12040 | ||
| 最大输出功率 | 750W | 1.5kW | 3kW | 6kW | |
| 输出接头 | N 型 | LS2 型 | |||
| 输入电压 | AC 200V ±10V, 三相, 50/60 Hz | ||||
| 输入电流 | AC 5A | AC 8A | AC 20A | AC 35A | |
| 振荡方式 | 他激式晶体振荡 | ||||
| 振荡频率 | 13.56MHz ±0.005% | ||||
| 输出稳定度 | ±0.5％以下 (最大输出功率, 对50Ω电阻负载) | ||||
| 波动 | 1％以下 (最大输出功率, 对50Ω电阻负载) | ||||
| 总谐波失真 | - 50dB (最大输出功率时) | ||||
| 制冷方式 | 强制空冷 | 水冷 | |||
| 5～7L/分 | 5～6.5L/分 | ||||
| 外观尺寸 (mm) | Wide | 481 | 481 | 481 | 481 |
| Depth | 430 | 504 | 504 | 510 | |
| Hight | 149 | 199 | 199 | 349 | |
| 重量(kg) | 18 | 25 | 27 | 55 | |
*RF-12040由单元1（149mmH/25kg）和单元2（199mmH/30kg）构成。
*外观尺寸不包括突起部分（背面的风扇等）。RF-56000 外观尺寸 ： 105mm(W)×305mm(D)×145mm(H)
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