BS-80011BPG产生高密度等离子体的内置型等离子体枪
BS-80020CPPS是用于辅助低温（100℃以下等）下塑料基板和胶片成膜的等离子体源
详细介绍
| 最大放电输出 | 3.2kW (160V, 20A) |
| 最大辅助输出功率 | 2kW (200V, 10A) |
| 工作压力 | 8×10-3 ～ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 气氛) |
| 放电气体(Ar) | 8 ～ 20mL/分 |
| 适用控制电源 | BS-92040CPPC |
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